森原 淳

半導体製造や液晶製造などの最先端分野での工場では、パーフロロカーボンを含むさまざまなプロセスガスが使用されていますが、その大部分は使用されず排出され、これらは温暖化係数が高いことから分解等による削減が必要になっています。特に昨今SCOPE1ににおけるゼロカーボン化が社会的に要請されており、製造プロセスの制約に起因するほどの重要な課題となっています。これに対しユーザーと共同しながら、排ガスの効率的なグリーン化を目途とし、プラズマ、スクラバーなどの様々に機器を研究開発をしております。本研究により、先端機器の産業界におけるゼロカーボン化を推進しています。