研究概要
各種プロセスプラズマの発光分光計測
各種の低温非平衡プラズマにつき、原子分子過程の基礎に則り、電子温度・密度・エネルギー分布関数、ガス温度・ラジカル密度の発光分光計測法開発を行っている。対象は多岐にわたり、半導体エッチングプロセスや医科歯科応用プラズマ源など、以下に示すような幅広い分野のプラズマ計測で、空間分解トモグラフィー計測まで含め実用応用を目指している。
［電子工学］ドライエッチングの減圧プロセスプラズマ、プラズマ太陽光素子用のシリコン薄膜作成
［医用工学］審美歯科・う歯治療など歯科応用、止血・皮膚科など医学応用を目指した大気圧低温プラズマ
［原子力工学］原子炉廃止措置向け水中アークプラズマ
［核融合］核融合炉周辺領域のダイバータ模擬低温プラズマ
［環境工学］大気環境模擬の窒素・酸素プラズマ、CO2 再利用のための炭酸ガスプラズマ
［材料工学］光学素子反射防止コーティングのための非平衡プラズマ、金属表面窒化のための窒素含有プラズマ
［機械工学］自動車エンジン燃焼火炎プラズマ
［航空宇宙］人工衛星電気推進スラスタープラズマ、等。